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BURKERT8741型氣體流量控制器

  • 更新時(shí)間:2025-06-12
  • 廠商性質(zhì):工程商
  • 產(chǎn)品廠地:上海市
  • 訪問次數(shù):924
產(chǎn)品特點(diǎn):BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外,測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。
產(chǎn)品介紹

BURKERT8741型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為MFC或者M(jìn)FM,且規(guī)定用于büS或者CANopen網(wǎng)絡(luò)中。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)CAN物理層為基礎(chǔ),Bürkert特別為涉及多個(gè)控制回路(通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動(dòng))的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元(SCU, System Control Unit)將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩腷üS中,并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此,BURKERT8741型氣體流量控制器也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎(chǔ)設(shè)施中。借助MEMS傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外,測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。可以對(duì)MFC/MFM進(jìn)行校準(zhǔn),使其用于測(cè)量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

技術(shù)數(shù)據(jù):
控制范圍:1:50
建立時(shí)間:<3秒
重復(fù)性:±0.1%F.S.
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1:5 ... 15000 mlN / min2)
校準(zhǔn)氣體:使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力:10 bar(145 psi),取決于閥的孔口
環(huán)境溫度:-10 ... + 50°C,其他要求
介質(zhì)溫度:-10 ... + 70°C(氧氣為-10 ... + 60°C)
建立時(shí)間:<3秒準(zhǔn)確度:±1.5%o.R. ±0.3%F.S.(1分鐘預(yù)熱時(shí)間后)

BURKERT8741型氣體流量控制主要特點(diǎn):
采用 MEMS 技術(shù)直接測(cè)量流量
測(cè)量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen

測(cè)量原理:
用于工藝技術(shù)中直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。在體積流量計(jì)的情況下,有必要測(cè)量溫度,壓力或者是密度,因?yàn)闅怏w會(huì)根據(jù)壓力改變它們的密度或者它們的體積。另一方面,質(zhì)量流量的測(cè)量與壓力和溫度。數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)8006型使用基于熱量原理的直列式傳感器(參見直接位于主通道的頁面上的說明)由于傳感器直接位于主通道中,因此MFM的響應(yīng)時(shí)間非常短這種主流測(cè)量的另一個(gè)好處是它對(duì)污染不那么敏感,實(shí)際流量是作為模擬輸出信號(hào)給出的,或者可以通過現(xiàn)場總線通信讀取,8006型可以選擇校準(zhǔn)兩種不同的氣體,用戶是能夠在這兩種氣體之間切換。根據(jù)客戶的具體情況選擇與氣體接觸的部件的材料,以便可以使用完整范圍的標(biāo)準(zhǔn)過程氣體來操作裝置。

 

 



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